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一、质量流量控制器使用一段时间后需定期的对质量流量控制器拆开进行内部的杂物整理一下，在检查是否有受损的零件；
二、检查质量流量控制器的管道刚性是否是缺乏的状态，如果是就建议将管道用支架固定，避免作业时出现振荡现象；
三、不要忘记质量流量控制器里外的污染整理，避免密封面的损坏；
四、注意检测质量流量控制器的浓度测量范围：各类质量流量控制器都有其固定的检测范围。只有在其测定范围内完成测量，才能保证质量流量控制器准确地进行测定。
五、注意经常性的校准和检测：质量流量控制器也同其它的分析检测仪器一样，都是用相对比较的方法进行测定的。因此，随时对质量流量控制器进行校零，经常性对仪器进行校准都是保证仪器测量准确的必不可少的工作。
六、注意各种不同传感器间的检测干扰：一般而言，每种传感器都对应一个特定的检测气体，因此，在选择一种气体传感器时，都应当尽可能了解其它气体对质量流量控制器传感器的检测干扰。